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微流控芯片

簡要描述:微流控芯片雖然被冠以芯片之名,但其與傳統(tǒng)的集成電路芯片相比,又有其區(qū)別和特點(diǎn)。 其早期是微系統(tǒng)通過微加工工藝,在不同材料的基片上加工出微米至亞毫米級的各種微結(jié)構(gòu)單元,而后在微米尺度空間對流體進(jìn)行操控,可以配合流體控制或分析儀器自動(dòng)完成生物實(shí)驗(yàn)室中的提取、擴(kuò)增、萃取、標(biāo)記、分離、分析,或者細(xì)胞的培養(yǎng)、處理、分選、裂解、分離分析等過程。

  • 產(chǎn)品型號(hào):MPE-L1
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-11-07
  • 訪  問  量: 4315

詳細(xì)介紹

  微流控芯片雖然被冠以芯片之名,但其與傳統(tǒng)的集成電路芯片相比,又有其區(qū)別和特點(diǎn)。 其早期是微系統(tǒng)通過微加工工藝,在不同材料的基片上加工出微米至亞毫米級的各種微結(jié)構(gòu)單元,而后在微米尺度空間對流體進(jìn)行操控,可以配合流體控制或分析儀器自動(dòng)完成生物實(shí)驗(yàn)室中的提取、擴(kuò)增、萃取、標(biāo)記、分離、分析,或者細(xì)胞的培養(yǎng)、處理、分選、裂解、分離分析等過程。
 
  與其他集成電路芯片相比,微流控芯片有兩類芯片,一類是傳統(tǒng)的,使用機(jī)密機(jī)加工、微注塑等手段制備的塑料片,這一類還是依賴外接各種供液管路、檢測模塊等外接輔助設(shè)備,并不是真的意義上的芯片;另外一類是硅基的,主要使用微納加工工藝制備的集成了處理電路、液體驅(qū)動(dòng)微系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、液相檢測電極等一系列執(zhí)行器和傳感器的微流控芯片,擺脫外接輔助設(shè)備的限制,實(shí)現(xiàn)了片上集成微流控系統(tǒng)的功能。
 
  從技術(shù)上看,傳統(tǒng)芯片主要是利用電學(xué)系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)控制,而微流控芯片還包含了電學(xué)、流體、傳感等一系列模塊。它的微系統(tǒng)通常是用來處理液體的。具體來講,就是在半導(dǎo)體上形成微流控,或者液體流通的一些微小通道,同時(shí)這個(gè)微通道要與微系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的可控電路緊密結(jié)合。簡單來講,微流控芯片是基于傳統(tǒng)的集成電路芯片,又做了一些適用于液體處理的微系統(tǒng)。
 
  微流控芯片是基于應(yīng)用工藝的定制型特殊流道結(jié)構(gòu)部件,其通道結(jié)構(gòu)和尺寸均與項(xiàng)目工藝需求相結(jié)合,屬定制型結(jié)構(gòu)件。
 
微流控

 
  技術(shù)參數(shù):
 
  流量范圍(ml/min): 0.1~200
 
  壓力范圍(MPa): 0-25
 
  溫度控制(℃): 4~100℃
 
  流量設(shè)定誤差%(ml/min): ≤±1%
 
  流量重復(fù)性誤差%(ml/min): ≤1%
 
  壓力脈動(dòng)(MPa): ≤0.1
 
  壓力準(zhǔn)確度(MPa): ≤0.1
 
  芯片通道尺寸: 20um~3mm
 
    微流控芯片是利用微加工技術(shù)由硅、玻璃、石英、有機(jī)聚合物和復(fù)合材料制成的,列舉了制造中所用的各種材料及其優(yōu)點(diǎn):

 材料  制備方法  優(yōu)點(diǎn)
 玻璃,石英  光刻、蝕刻技術(shù)  重復(fù)使用,具有良好透光性和電絕緣性
 硅  蝕刻技術(shù)  工藝成熟,具有良好穩(wěn)定性
 聚二甲基硅氧烷  模塑技術(shù)  無毒、成本低、化學(xué)惰性高
 光刻膠  光聚合  耐高溫,可重復(fù)使用
 聚甲基丙烯酸甲酯  激光燒蝕  制備簡單,精度高
 氟化乙烯丙烯  光刻  制備精度高,耐腐蝕
 聚乙烯醇  光聚合  滲透性高,成本低
 分析濾紙  印刷  成本低,方便攜帶

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